ISO
class
최대허용 입자농도(개/m2)
0.1㎛
0.2㎛
0.3㎛
0.5㎛
1㎛
5㎛
1
10
2
2
100
24
10
4
3
1,000
237
102
35
8
4
10,000
2,370
1,020
352
83
5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
7
352,000
83,200
2,930
8
3,520,000
832,000
29,300
9
35,200,000
8,320,000
293,000
 
 
 
Class 표시 미터법영국단위
Class 상한치
0.1 ㎛
0.2 ㎛
0.3 ㎛
0.1 ㎛
5 ㎛
미터법 영국단위
(㎡)
(ft3)
(㎡)
(ft3)
(㎡)
(ft3)
(㎡)
(ft3)
 (㎡)
(ft3)
M1
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
M1.5
1
1,240
35.0
265
7.50
106
3.00
35.3
1.00
M2
3,500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
M2.5
10
12,400
350
2,650
75.0
1,060
30.0
363
10.0
M3
35,000
991
7,570
21.4
3,090
87.5
1,000
28.3
M3.5
100
26,500
750
10,600
300
3,530
100
M4
75,700
2,140
30,900
8754
10,000
283
M4.5
1000
36,300
1,000
247
7.00
M5
100,000
2,830
618
17.5
M5.5
10,000
353,000
10,000
2,470
70.0
M6
1,000,000
28,300
6,180
175
M6.5
100,000
3,530,000
100,000
24,700
700
M7
10,000,000
283,000
61,800
1,750
 
 
 
입경
(㎛)
청정도 Class 상한 농도(개/㎥)
Class1
Class2
Class3
Class4
Class5
Class6
Class7
Class8
0.1
101
102
103
104
105
(106)
(107)
(108)
0.2
2
24
236
2360
23,600
-
-
-
0.3
1
10
101
1010
10,100
101,000
1,010,000
10,010,000
0.5
(0.35)
(3.5)
35
350
3,500
35,000
350,000
3,500,000
5.0
-
-
-
-
29
290
2,900
29,000
청정도
Class
입경범위
0.1~0.3
0.1~0.5
0.1 ~ 5.0
0.3 ~ 5.0
 
 
  아래표는 주요 규격을 비교한 내용입니다. 기준입경과 단위체적이 다르기 때문에 주의가 필요합니다.
반도체 분야의 일부에서는 0.1um-ft3가 사용되고 있습니다.

미국연방규격
JIS B 9920
ISO 14544-1
반도체분야
209D
209E
기준입경
0.5㎛ 이상
0.1 ㎛ 이상
단위체적
ft3
㎥
ft3
Class 표시
1
ISO 1
1
2
ISO 2
M1
10
1
M1.5
3
ISO 3
M2
100
10
M2.5
4
ISO 4
M3
1,000
100
M3.5
5
ISO 5
M4
10,000
1,000
M4.5
6
ISO 6
M5
100,000
10,000
M5.5
7
ISO 7
M6
100,000
M6.5
8
ISO 8
M7
ISO 9

[ 주요 청정도 Class 규격 ]
입경분포는 규격마다 다소 다르기 때문에, 횡열에서의 Class 는 완전히 일치하는 것은 아니지만 실용상 동일하게 생각해도 문제는 없음
입자에 의한 Class 표시와 균수와의 관계는 표준치로써 미국항공우주국 규격(NASA), WHO. GMP 및 FDA의 규격이 있습니다.
   
 
 
청정도 Class
공기중 부유군 (개/ft3)
낙하균(개/ft2. week)
100
0.1
1,200
10,000
0.5
6,000
100,000
2.5
30,000
 
 
 
등급(grade)
입자농도
부유균 농도(CFU/㎡)
0.5 ~ 5 Micron
5 Micron
A
3,500
0
1>
B
3,500
0
5
C
350,000
2,000
100
D
3,500,000
20,000
500
 
   
 
 
입자농도
부유균 농도(개.ft3)
중 요 구 역
Class 100
0.1
관 리 구 역
Class 100,000
2.5
   
 
 
청정도 Class
FDA
NASA
WHO GMP
개 / ㎡ (개/ft3)
개 / ㎡ (개/ft3)
개 / ㎡
A 100
-
-
1 >
B 100
3.5 (0.1)
3.5 (0.1)
5
C 10,000
-
18 (0.5)
100
D 100.000
88 (2.5)
88 (2.5)
500
 
 
 
209E (1992 )
JIS B 9920 (1989 )
ISO 14644-1 ( 1999 )
측정점
10개소미만
측정점
10개소미만
연속(순차)
Samping법
정규의
평가방법
(96%신뢰
상하법)
순차(연속)
Samping법
측정점
10개소
미만
측정점
10개소이상
순차(연속)
Samping법
대상
청정도
Class
Class
M1~M7이상
ClassM2.5
(Class 10)
청정역
Class
1~8
Class
1~4
Class
1~9
Class
1~4
측정
점수와 산출
방법
2개소 이상, 각 개소당 1회 이상.
단 합계는 5개소 이상
6개소 이상, 각개소당 3회 이상.
6개소이상, 각 개소당 1회 이상 2회로 평가할 수 없을때 최소 샘플링량의 3배를 흡입
측정개소가
1개소뿐인 경우
측정은 3회
측정개소수의 산출
(1) 단일 방향류의 경우
(a),(b)의 적은폭을 선택
(a)= A/2.32 (b) = A x 64/(10M)
A는 크린구역(면적(㎥)
M은 청정도 CLASS표시
(2) 비단일 방향류의 경우
Ax 64/(10M)
3x3m를 측정점으로 하고, 20~30m를 표준, 측정개소수가 많게 되는 경우는
그것을 넓혀도 좋다.
측정점의 산출
A
A는, 크린룸의 면적(㎡)
판정
방법
각 점의 평균치와 전체 측정점의 95%신뢰의 상하치를 산출해 그양자가 클라스의 상한치 이하일 경우, 합격이 됨
각점의 평균치를 산출해 클라스의 상한치 이하일 경우 합격이 됨
평가 선도의 함격권에 들어갔을때 합격이 됨
각점의 평균치와 전 측정점의 96%신뢰의 상한치를 산출해 그양자가 클라스의 상한치 이상일 경우, 합격이 됩
평가 선도의 합격이 들어갔을때, 합격이 됨
각 점의 평균치와 전 측정저의 96%신뢰의 상한치를 산출해, 그 양자가 클라스의 상하치 이하일 경우, 합격이 됨
각 점의 평균치를 산출해 클라스의 상한치 이하일 경우, 합격이 됨
평가 선도의 합격에 들어갔을때, 합격이 됨
 
 
 
항목
내용
평 균 풍 속
0.3 ~ 0.6 m/sec (일방향류 경우만 )
풍속의 분산 (흩어짐)
평균풍속의 +20%이내
풍 량
정격의 ±20%이내( 난류형의 경우만 )
청 정 도
청정도 Class를 지정
절 연 저 항
1M 이상
내 전 압
1분간 이상이 없을 것 ( 전자부품은 제외 )
소 비 전 력
정격의 ±20 % 이내
조 도. 진 동
당사자간의 협의에 의함
소 음
65dBA 이하 ( 다수연결시는 협의에 의함)
주 필 터
HEPA 또는 ULPA Filter일 것
기 타
Air nozzle의 유인, Filter Leak가 없을것
   
산업
청정도 CLASS CLEANNESS LEVEL(CLASS)
M1.5~2.5
(CLASS1~10)
M3.5
(CLASS100)
M4.5
(CLASS1,000)
M5.5
(CLASS10,000)
M6.5
(CLASS100,000)
C
R
의


이
용


공
정
과


청
정
도
반
도
체
공
업
   
결정제조 SLCON CRYSTALLIZATION
 
WQFER 제조 WAFER MANUFACTURE
 
확산 DIFFUSON
     
WAFER 처리 WAFER PROCESSING
   
사진평판출 POTOUTHOGRAPHY
     
IC CHIP 제조 IC CHIP MANUFACTURE
   
   
조립 ASSEMBLY
 
검사 INSPECTION
액
정
 
기판세정 SUFFACE CLEANING
   
사진평판술 POTOUTHOGRAPHY
     
COLOR FILTER
   
   
조립 ASSEMBLY
전
자
기
기
 
MAGNETIC DRAM TAPE
   
 
SHADOW MASK
 
 
고신회관
 HIGH RELIARELE TUBE  
정
밀
기
계
         
   
PARTS FOR ROCKET
     
WATCH, METER, BEARING 시계.계기.BEANING
광
학
.
인
쇄
 
LENS
  
LSI MASK
     
 
PRINT CIRCUIT BOARD
   
FILM
  
 
정밀인쇄 PRECISION PRINT
기
타
 
무진폭의 세탁 LAUNDRY FOR GARMENTS
Laser발생기 LASER GENERATOR
   
B
C
R
의
학
 
특수수술 SPECIAL OPERATION
    
     
보통수수술 NORMAL OPERATION
 
특수치료실
 SPECIAL TREATMENT  
   
회복실 ICU, CCU RECOVERY ROOM
 
   
신생아실 NECNATAL ROOM
     
임상검사 CLINC INSPECTION
 
약제실 MECNCINE ROOM
약
품
 
무균제제
CRTICAL AREA
CONTRAOLLED AREA
 
무균동물 PATHOGEN FREE ANIMAL
 
     
SPF ANIMAL
SPF 동물
   
항생물질 ANTIBIOTIC
 
 
보통약품 NORMAL MEDICNES
       
주약공정
식
품
     
양조. 발효 BREW FERMANTATION
   
유제품 DAIRY PRODUCTS
 
식육가공 FOOD PROCESSING
 
   
반축 제품 PASTE
농
림
.
축
산
   
버섯재배 MUSH ROOM
 
성장점 배야 ARTIVICAL CULTRURE
 
       
양식 PASING
  유해균실험 EXPERIMENTING PATHOGEN    
 
유전자공학 GENTIC ENGNEERING
 
 
종양 VIRUS TUMOR VIRUS
 
 
 
  양압식 청정환경   음압식 청정환경
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